| Название: | Исследование механических свойств bcx нанопленок методами наноиндентирования и лазерного ультразвука |
|---|---|
| Авторы и аффилиации: |
Быков А.А. (основной автор / докладчик) Научно-технологический центр уникального приборостроения Российской академии наук Лапицкая В.А. Институт тепло- и массообмена имени А.В. Лыкова НАН Беларуси Хабарова А.В. Институт тепло- и массообмена имени А.В. Лыкова НАН Беларуси Ломоносов А.М. Научно-технологический центр уникального приборостроения Российской академии наук Корнеева А.А. Научно-технологический центр уникального приборостроения Российской академии наук Зинин П.В. Научно-технологический центр уникального приборостроения Российской академии наук Белых А.Ю. Научно-технологический центр уникального приборостроения Российской академии наук Кукушкин В.А. Научно-технологический центр уникального приборостроения Российской академии наук Журавлёв Д.И. Научно-технологический центр уникального приборостроения Российской академии наук Ляшенко А.И. Научно-технологический центр уникального приборостроения Российской академии наук |
| Аннотация: | Алмазоподобные пленки обладают уникальными свойствами (высокая твердость, теплопроводность, низкий коэффициент трения, радиационная стойкость) и могут успешно применяться в технике, микроэлектронике и медицине. Легирование алмазоподобных пленок бором открывает возможности широкого применения их в области электроники, так как содержание частиц бора в алмазной решетке способствует возникновению электрической проводимости. Однако бор негативно влияет на механические свойства получаемых тонких пленок. В работе представлены результаты исследования механических свойств алмазоподобных пленок, легированных бором, полученных методом лазерного осаждения в вакуумной среде. Механические свойства определялись методом наноиндентирования и лазерного ультразвука, а также дополнительно использовалось наноскретчтестирование. Проведено сравнение результатов, получаемых этими методами. Для исследования топографии поверхности и определения толщины пленки в работе применялась атомно-силовая микроскопия. |
| Тип: | Журнал |
| Название журнала: | ФИЗИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ ПРИБОРОСТРОЕНИЯ |
| Том: | 13 |
| Страницы: | 64-70 |
| Номера тем гос.задания: | FFNS-2022-0008 |
| Ссылка на ЦКП и/или УНУ: | имеется |
| DOI: | 10.25210/jfop-2404-JWFFGJ |
| ISSN: | 2225-4293 |
| Ссылка на страницу в eLIBRARY: | https://www.elibrary.ru/item.asp?id=82749134 |
| eLIBRARY ID: | 82749134 |
| Код EDN: | JWFFGJ |
| Рекомендуемая библиографическая ссылка: | Быков А.А., Лапицкая В.А., Хабарова А.В., Ломоносов А.М., Корнеева А.А., Зинин П.В., Белых А.Ю., Кукушкин В.А., Журавлёв Д.И., Ляшенко А.И. Исследование механических свойств bcx нанопленок методами наноиндентирования и лазерного ультразвука // ФИЗИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ ПРИБОРОСТРОЕНИЯ. 2024. Т. 13. С. 64-70. EDN: JWFFGJ. DOI: 10.25210/jfop-2404-JWFFGJ. |