Название: Атомно-силовая визуализация проводимости и морфология поверхности bcx-плёнок, получаемых методом лазерного напыления
Авторы и аффилиации: Зинин П.В.
(основной автор / докладчик)
Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН (НТЦ УП РАН)

Быков А.А.
Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН (НТЦ УП РАН)

Романов Р.И.
Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ

Корнеева А.А.
Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН (НТЦ УП РАН)

Андреев А.В.
Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН (НТЦ УП РАН)

Белых А.Ю.
Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН (НТЦ УП РАН)

Краснобородько С.Ю.
Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН (НТЦ УП РАН)

Кукушкин В.А.
Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН (НТЦ УП РАН)

Аннотация: Материалы с нестандартными физическими свойствами широко востребованы в разных областях науки и техники, начиная от микроэлектроники и заканчивая тяжёлыми промышленными установками. В своё время международными научными коллективами проведены математические расчёты, показывающие, что наиболее перспективными являются соединения B-C-структур, которые при определённых внешних условиях и соотношениях концентраций обладают сильными химическими sp2- и sp3-связями. Таким материалам характерна высокая твёрдость, стойкость к агрессивным средам, а также возникает свойство электропроводности. Данная работа направлена на синтез и исследование углеродсодержащих плёнок ВСx . Представлены результаты измерения тонкой плёнки BC5. Получены спектральные характеристики плёнки, данные о толщине её слоя, проводимости и составе при помощи рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии.
Тип: Журнал
Название журнала: АВТОМЕТРИЯ
Том: 60
Страницы: 81-87
Номера тем гос.задания: FFNS-2022-0008
Ссылка на ЦКП и/или УНУ: имеется
DOI: 10.15372/AUT20240210
ISSN: 0320-7102
Ссылка на страницу в eLIBRARY: https://www.elibrary.ru/item.asp?id=65660460
eLIBRARY ID: 65660460
Код EDN: IJDVZJ
Рекомендуемая библиографическая ссылка: Зинин П.В., Быков А.А., Романов Р.И., Корнеева А.А., Андреев А.В., Белых А.Ю., Краснобородько С.Ю., Кукушкин В.А. Атомно-силовая визуализация проводимости и морфология поверхности bcx-плёнок, получаемых методом лазерного напыления // АВТОМЕТРИЯ. 2024. Т. 60. С. 81-87. EDN: IJDVZJ. DOI: 10.15372/AUT20240210.