| Название: | Сравнение точности характеризации ультратонких покрытий методами поверхностного плазмонного резонанса и рефлектофотометрии |
|---|---|
| Авторы и аффилиации: |
Анисимов А.В. (основной автор / докладчик) Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН (НТЦ УП РАН) Хасанов И.Ш. Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН (НТЦ УП РАН) |
| Аннотация: | Описан алгоритм определения толщины тонкого диэлектрического слоя, расположенного на металле, методами поверхностного плазмонного резонанса (ППР) и рефлектофотометрии (РФМ). Рассмотрено влияние длины волны, истинной толщины восстанавливаемого слоя и шума при измерении коэффициента отражения на относительные погрешности обоих методов. Приведены физические обоснования полученных результатов с точки зрения характера распространения электромагнитных волн в обоих методах. Показано, что определение толщин ультратонких плёнок методом ППР имеет меньшие относительные погрешности по сравнению с методом РФМ. |
| Тип: | Сборник (научных трудов) |
| Полное название конференции (съезда, симпозиума): |
АКУСТООПТИЧЕСКИЕ И РАДИОЛОКАЦИОННЫЕ МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЙ И ОБРАБОТКИ ИНФОРМАЦИИ |
| Место проведения: | Москва, 2024 Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН |
| Вид конференции: | Международная |
| Тип доклада: | устный |
| Страницы: | 570-574 |
| Номера тем гос.задания: | FFNS-2022-0009 |
| Ссылка на страницу в eLIBRARY: | https://www.elibrary.ru/item.asp?id=75064640 |
| eLIBRARY ID: | 75064640 |
| Код EDN: | KUQJLI |
| Рекомендуемая библиографическая ссылка: | Анисимов А.В., Хасанов И.Ш. Сравнение точности характеризации ультратонких покрытий методами поверхностного плазмонного резонанса и рефлектофотометрии // АКУСТООПТИЧЕСКИЕ И РАДИОЛОКАЦИОННЫЕ МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЙ И ОБРАБОТКИ ИНФОРМАЦИИ / Сборник трудов. 2024. С. 570-574. EDN: KUQJLI. |