| Название: | Исследование механических свойств тонких пленок bc методом наноиндентирования |
|---|---|
| Авторы и аффилиации: |
Быков А.А. (основной автор / докладчик) Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН (НТЦ УП РАН) Лапицкая В.А. Институт тепло- и массообмена имени А.В. Лыкова НАН Беларуси Хабарова А.В. Институт тепло- и массообмена имени А.В. Лыкова НАН Беларуси Крень А.П. Институт прикладной физики НАН Беларуси Белых А.Ю. Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН (НТЦ УП РАН) Корнеева А.А. Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН (НТЦ УП РАН) Зинин П.В. Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН (НТЦ УП РАН) |
| Аннотация: | Алмазоподобные пленки находят все большее применение в технике, микроэлектронике и медицине, благодаря таким уникальным свойствам как высокая твердость, теплопроводность, низкий коэффициент трения, радиационная стойкость. Исследование алмазоподобных бор-углеродистых пленок открывает возможности широкого применения их в области электроники, так как содержание частиц бора в алмазной решетке делает способствует возникновению электрической проводимости. Но бор негативно влияет на механические свойства получаемых тонких пленок. Представленная работа направленна на исследование бор-углеродистых тонких пленок методом наноиндентирования, что позволило определить их механические свойства, такие как микротвердость, коэффициент трения, трещиностойкость. Для определения толщины пленки в работе применялась атомно-силовая микроскопия. Это классический и достаточно точный метод измерения топографии поверхности, позволяющий измерить не только профиль поверхности, но и толщину пленки за счет сканирования переходной области пленка-подложка. |
| Тип: | Сборник (научных трудов) |
| Полное название конференции (съезда, симпозиума): |
АКУСТООПТИЧЕСКИЕ И РАДИОЛОКАЦИОННЫЕ МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЙ И ОБРАБОТКИ ИНФОРМАЦИИ |
| Место проведения: | Москва, 2024 Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН |
| Вид конференции: | Международная |
| Тип доклада: | устный |
| Страницы: | 433-436 |
| Номера тем гос.задания: | FFNS-2022-0008 |
| Ссылка на ЦКП и/или УНУ: | имеется |
| Ссылка на страницу в eLIBRARY: | https://www.elibrary.ru/item.asp?id=75064609 |
| eLIBRARY ID: | 75064609 |
| Код EDN: | SGMDDB |
| Рекомендуемая библиографическая ссылка: | Быков А.А., Лапицкая В.А., Хабарова А.В., Крень А.П., Белых А.Ю., Корнеева А.А., Зинин П.В. Исследование механических свойств тонких пленок bc методом наноиндентирования // АКУСТООПТИЧЕСКИЕ И РАДИОЛОКАЦИОННЫЕ МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЙ И ОБРАБОТКИ ИНФОРМАЦИИ / Сборник трудов. 2024. С. 433-436. EDN: SGMDDB. |