| Название: | Исследование механических свойств bcх нанопленок методом лазерного ультразвука |
|---|---|
| Авторы и аффилиации: |
Быков А.А. (основной автор / докладчик) Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН (НТЦ УП РАН) Ломоносов А.М. Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН (НТЦ УП РАН) Белых А.Ю. Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН (НТЦ УП РАН) Корнеева А.А. Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН (НТЦ УП РАН) Зинин П.В. Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН (НТЦ УП РАН) |
| Аннотация: | Активное развитие промышленности и микроэлектроники привело к внедрению алмазоподобных покрытий в различных устройствах и технике. Однако при создании и исследовании новых алмазоподобных соединений с различным содержанием углерода возникают сложности с определением их механических свойств и состава. В работе рассматривается возможность применения экспресс метода, позволяющего быстро определять характеристики тонких алмазоподобных покрытий для сокращения времени подбора оптимальных параметров роста пленок в технологических вакуумных установках. Для определения механических свойств пленок и наличия в них sp2 и sp3 связей предлагается использовать методы лазерного ультразвука и рамановской спектроскопии, которые позволят произвести предварительную оценку характеристик пленки, не разрушая ее поверхность и не используя метод рентгеноструктурного анализа. |
| Тип: | Сборник (научных трудов) |
| Полное название конференции (съезда, симпозиума): |
АКУСТООПТИЧЕСКИЕ И РАДИОЛОКАЦИОННЫЕ МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЙ И ОБРАБОТКИ ИНФОРМАЦИИ |
| Место проведения: | Москва, 2024 Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН |
| Вид конференции: | Международная |
| Тип доклада: | устный |
| Страницы: | 429-432 |
| Номера тем гос.задания: | FFNS-2022-0008 |
| Ссылка на ЦКП и/или УНУ: | имеется |
| Ссылка на страницу в eLIBRARY: | https://www.elibrary.ru/item.asp?id=75064608 |
| eLIBRARY ID: | 75064608 |
| Код EDN: | HVYIUF |
| Рекомендуемая библиографическая ссылка: | Быков А.А., Ломоносов А.М., Белых А.Ю., Корнеева А.А., Зинин П.В. Исследование механических свойств bcх нанопленок методом лазерного ультразвука // АКУСТООПТИЧЕСКИЕ И РАДИОЛОКАЦИОННЫЕ МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЙ И ОБРАБОТКИ ИНФОРМАЦИИ / Сборник трудов. 2024. С. 429-432. EDN: HVYIUF. |