| Название: | Разработка методики контроля толщины ультратонких плёнок методом спектроскопии поверхностного плазмонного резонанса в процессе вакуумного напыления |
|---|---|
| Авторы и аффилиации: |
Лобастов С.А. (основной автор / докладчик) Научно-технологический центр уникального приборостроения Анисимов А.В. Научно-технологический центр уникального приборостроения Хасанов И.Ш. Научно-технологический центр уникального приборостроения |
| Аннотация: | В работе представлена разработка новой методики контроля толщины уль-тратонких плёнок в процессе вакуумного напыления с использованием спектроскопии поверхностного плазмонного резонанса (ППР). Основное внимание уделено преимуще-ствам метода ППР, который позволяет измерять оптические характеристики тонких сло-ёв с высокой точностью и чувствительностью. Приведены результаты численных и экс-периментальных исследований, демонстрирующие высокую точность и чувствитель-ность предлагаемой методики, а также её способность осуществлять непрерывный кон-троль параметров плёнок в реальном времени. Также рассмотрена возможность исполь-зования метода ППР для дополнения оптического контроля в напылительных установ-ках. Полученные результаты показывают, что точность измерений оптической толщины для пленок толщиной до 50 нм для метода ППР на порядок превосходят стандартный спектрофотометрический контроль. |
| Тип: | Сборник (научных трудов) |
| Полное название конференции (съезда, симпозиума): |
ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА И ТЕХНОЛОГИИ |
| Место проведения: | Санкт-Петербург, 2024 Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина) |
| Вид конференции: | Всероссийская |
| Тип доклада: | устный |
| Страницы: | 298-301 |
| Ссылка на страницу в eLIBRARY: | https://www.elibrary.ru/item.asp?id=80461776 |
| eLIBRARY ID: | 80461776 |
| Код EDN: | WVNWPK |
| Рекомендуемая библиографическая ссылка: | Лобастов С.А., Анисимов А.В., Хасанов И.Ш. Разработка методики контроля толщины ультратонких плёнок методом спектроскопии поверхностного плазмонного резонанса в процессе вакуумного напыления // ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА И ТЕХНОЛОГИИ / Сборник трудов. 2024. С. 298-301. EDN: WVNWPK. |