| Название: | Применение алмазоподобных плёнок, полученных методом лазерного напыления |
|---|---|
| Авторы и аффилиации: |
Корнеева А.А. (основной автор / докладчик) Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН (НТЦ УП РАН) Быков А.А. Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН (НТЦ УП РАН) Зинин П.В. Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН (НТЦ УП РАН) |
| Аннотация: | В работе проведён обзор работ по напылению алмазоподобных плёнок и их применение в машиностроении, медицине и микроэлектронике. Представлена установка по лазерному напылению алмазоподобных плёнок, созданная в Научно-технологическом центре уникального приборостроения РАН. |
| Тип: | Сборник (научных трудов) |
| Полное название конференции (съезда, симпозиума): |
XIII МЕЖДУНАРОДНАЯ КОНФЕРЕНЦИЯ ПО ФОТОНИКЕ И ИНФОРМАЦИОННОЙ ОПТИКЕ СБОРНИК НАУЧНЫХ ТРУДОВ |
| Место проведения: | Москва, 2024 Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ" |
| Вид конференции: | Международная |
| Тип доклада: | устный |
| Страницы: | 281-282 |
| Номера тем гос.задания: | FFNS-2022-0008 |
| Ссылка на страницу в eLIBRARY: | https://www.elibrary.ru/item.asp?id=62495223 |
| eLIBRARY ID: | 62495223 |
| Код EDN: | DDRVJD |
| Рекомендуемая библиографическая ссылка: | Корнеева А.А., Быков А.А., Зинин П.В. Применение алмазоподобных плёнок, полученных методом лазерного напыления // XIII МЕЖДУНАРОДНАЯ КОНФЕРЕНЦИЯ ПО ФОТОНИКЕ И ИНФОРМАЦИОННОЙ ОПТИКЕ СБОРНИК НАУЧНЫХ ТРУДОВ / Сборник трудов. 2024. С. 281-282. EDN: DDRVJD. |