| Название: | Разработка блока контроля толщины ультратонких покрытий при вакуумном напылении в режиме реального времени методом спектроскопии поверхностного плазмонного резонанса |
|---|---|
| Авторы и аффилиации: |
Лобастов С.А. (основной автор / докладчик) Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН (НТЦ УП РАН) Хасанов И.Ш. Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН (НТЦ УП РАН) |
| Аннотация: | В докладе представлены результаты разработки измерительного блока для контроля толщины наносимых оптических покрытий непосредственно в процессе напыления с использованием спектроскопии поверхностного плазмонного резонанса (ППР). Основное внимание уделено преимуществам метода спектроскопии ППР, который позволяет измерять оптические характеристики тонких слоёв с высокой точностью и чувствительностью. Проведена серия экспериментов по напылению с использованием описываемого измерительного блока. Приведены результаты численных и экспериментальных исследований, демонстрирующие высокую точность и чувствительность предлагаемой методики, а также её способность осуществлять непрерывный контроль параметров плёнок в реальном времени. Продемонстрирована возможность использования метода спектроскопии ППР для дополнения оптического контроля в напылительных установках. При проектировании измерительного блока учитывалось, что, при соответствующей доработке, его можно будет установить в различные вакуумные камеры. |
| Тип: | Сборник (научных трудов) |
| Полное название конференции (съезда, симпозиума): |
АКУСТООПТИЧЕСКИЕ И РАДИОЛОКАЦИОННЫЕ МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЙ И ОБРАБОТКИ ИНФОРМАЦИИ |
| Место проведения: | Москва, 2024 Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН |
| Вид конференции: | Международная |
| Тип доклада: | устный |
| Страницы: | 205-208 |
| Номера тем гос.задания: | FFNS-2022-0009 |
| Ссылка на ЦКП и/или УНУ: | имеется |
| Ссылка на страницу в eLIBRARY: | https://www.elibrary.ru/item.asp?id=75064557 |
| eLIBRARY ID: | 75064557 |
| Код EDN: | DCGLQQ |
| Рекомендуемая библиографическая ссылка: | Лобастов С.А., Хасанов И.Ш. Разработка блока контроля толщины ультратонких покрытий при вакуумном напылении в режиме реального времени методом спектроскопии поверхностного плазмонного резонанса // АКУСТООПТИЧЕСКИЕ И РАДИОЛОКАЦИОННЫЕ МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЙ И ОБРАБОТКИ ИНФОРМАЦИИ / Сборник трудов. 2024. С. 205-208. EDN: DCGLQQ. |